濕電子化學(xué)品又稱工藝化學(xué)品,是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、濕法清洗)制程中使用的各種液體化工材料。濕電子化學(xué)品廣泛用于芯片、顯示面板、太陽能電池、LED等電子元器件微細加工的清洗、光刻、顯影、蝕刻、摻雜等工藝環(huán)節(jié)配套使用。
按照配方,濕電子化學(xué)品可分為通用化學(xué)品(通常為超凈高純試劑)和功能性化學(xué)品(通常為混配試劑)。
濕電子化學(xué)品的分類
濕電子化學(xué)品分類 | 試劑類別 | 主要品種 |
通用化學(xué)品(超凈高純試劑) | 酸類 | 氫氟酸、硝酸、鹽酸、磷酸、硫酸、乙酸 |
堿類 | 氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀、四甲基氫氧化銨 | |
有機溶劑類 | 醇類:甲醇、乙醇、異丙醇 | |
酮類:丙酮、丁酮、甲基異丁基酮 | ||
酯類:乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸異戊酯 | ||
烴類:苯、二甲苯、環(huán)己烷 | ||
鹵代烴類:三氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳 | ||
其他類 | 雙氧水 | |
功能性化學(xué)品(配方型) | 復(fù)配類 | 顯影液、剝離液、清洗液、蝕刻液、稀釋液等 |
資料來源:智研咨詢整理
為了適應(yīng)電子信息產(chǎn)業(yè)微處理工藝技術(shù)水平不斷提高的趨勢,并規(guī)范世界超凈高純試劑的標準,國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織(SEMI)將濕電子化學(xué)品按金屬雜質(zhì)、控制粒徑、顆粒個數(shù)和應(yīng)用范圍等指標制定國際等級分類標準。
高等級濕電子化學(xué)品對純度的要求達到 ppt 級別
SEMI 等級 | 金屬雜質(zhì) 10 -9 | 控制粒徑(μm) | 顆粒(個/mL) | 適應(yīng) IC 線寬*范圍(μm) | 對應(yīng)國內(nèi)標準 |
C1 (Grade1) | ≤1000(1ppm) | ≤1.0 | ≤25 | >1.2 | EL 級 |
C7 (Grade2) | ≤10(10ppb) | ≤0.5 | ≤25 | 0.8-1.2 | UP 級 |
C8 (Grade3) | ≤1.0(1ppb) | ≤0.5 | ≤5 | 0.2-0.6 | UP-S 級 |
C12 (Grade4) | ≤0.1 (0.1ppb) | ≤0.2 | 供需雙方協(xié)定 | 0.09-0.2 | UP-SS 級 |
Grade5 | ≤0.01(10ppt) | 供需雙方協(xié)定 | 供需雙方協(xié)定 | <0.09 | UP-SSS 級 |
資料來源:《微電子工業(yè)對超凈高純化學(xué)品的質(zhì)量要求》
濕電子化學(xué)品主要原材料主要為一般基礎(chǔ)化工原料,主要包括硫酸、鹽酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉、乙醇、異丙醇以及其他各類添加劑。濕電子化學(xué)品作為電子行業(yè)的配套行業(yè),與下游行業(yè)結(jié)合緊密,素有“一代材料、一代產(chǎn)品”之說。新能源、信息通訊、消費電子等行業(yè)對濕電子化學(xué)品行業(yè)有較大的影響。
濕電子化學(xué)品行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)
資料來源:智研咨詢整理
我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)發(fā)展較晚,20世紀80年我國濕電子化學(xué)品仍處于初步發(fā)展階段,國內(nèi)企業(yè)規(guī)模、技術(shù)與國外企業(yè)差距較大,2010年后,隨著下游平板顯示、集成電路產(chǎn)業(yè)向我國轉(zhuǎn)移,再加上光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國濕電子化學(xué)品行業(yè)進入快速發(fā)展階段。
中國濕電子化學(xué)品行業(yè)發(fā)展歷程
資料來源:智研咨詢整理
智研咨詢發(fā)布的《2020-2026年中國濕電子化學(xué)品產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)運營現(xiàn)狀及發(fā)展前景分析報告》顯示,國內(nèi)生產(chǎn)濕電子化學(xué)品的企業(yè)中產(chǎn)品達到國際標準且具有一定生產(chǎn)量的企業(yè)有30多家。國內(nèi)濕電子化學(xué)品生產(chǎn)生產(chǎn)商在業(yè)務(wù)規(guī)模、產(chǎn)品類別、戰(zhàn)略重心等方面存在一定區(qū)別。2009年我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)量約3.98萬噸,到2019年我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)量達到了50.56萬噸。
2011-2019年中國濕電子化學(xué)品產(chǎn)量情況
資料來源:智研咨詢整理
濕電子化學(xué)品是高附加值的精細產(chǎn)品。隨著電子工業(yè), 特別是IT 產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展, 該類產(chǎn)品在制造印刷電路板、清洗硅晶片和集成電路上的使用量越來越大。到2019年我國濕電子化學(xué)品需求量達到了77.19萬噸,近幾年我國濕電子化學(xué)品需求量情況如下圖所示:
2011-2019年中國濕電子化學(xué)品需求情況
資料來源:智研咨詢整理
目前,國內(nèi)濕電子化學(xué)品需求主要分為四個大類:太陽能電池領(lǐng)域用濕電子化學(xué)品需求30.3萬噸,占比39.25%;液晶面板領(lǐng)域用濕電子化學(xué)品需求25.52萬噸,占比33.06%;集成電路領(lǐng)域用濕電子化學(xué)品需求17.22萬噸,占比22.31%;半導(dǎo)體分立器件及其他領(lǐng)域用濕電子化學(xué)品需求量4.15萬噸,占比5.38%。
2011-2019年中國濕電子化學(xué)品需求結(jié)構(gòu)
資料來源:智研咨詢整理
綜合來看,我國濕電子化學(xué)品市場需求格局目前主要以太陽能電池領(lǐng)域發(fā)展為主,預(yù)計未來一段時間,太陽能電池領(lǐng)域依舊保持濕電子化學(xué)品主要需求領(lǐng)域,但隨著液晶顯示產(chǎn)品的技術(shù)革新和新產(chǎn)品應(yīng)用,液晶顯示在濕電子化學(xué)品的需求量有望得到一定改善。
2019年中國濕電子化學(xué)品需求結(jié)構(gòu)
資料來源:智研咨詢整理
2010年我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)品市場規(guī)模為15.02億元,2019年我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)品市場規(guī)模增長至94.17億元,2010年以來我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)品市場規(guī)模復(fù)合增長率為20.15%。
2011-2019年中國濕電子化學(xué)品市場規(guī)模及其增長情況
資料來源:智研咨詢整理
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2025-2031年中國太陽能電池領(lǐng)域濕電子化學(xué)品行業(yè)市場運營態(tài)勢及發(fā)展前景預(yù)測報告
《2025-2031年中國太陽能電池領(lǐng)域濕電子化學(xué)品行業(yè)市場運營態(tài)勢及發(fā)展前景預(yù)測報告》共七章,包含濕電子化學(xué)品在太陽能電池硅片制程上應(yīng)用及其市場現(xiàn)狀,太陽能用濕電子化學(xué)品生產(chǎn)商情況,光伏領(lǐng)域濕電子化學(xué)品市場前景預(yù)測等內(nèi)容。
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