2020年中國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)業(yè)趨于進一步集中[圖]

    一、市場規(guī)?？焖僭鲩L，未來進口替代空間大

    靜電卡盤是半導(dǎo)體設(shè)備的核心組件之一，對于控制晶圓的溫度（加熱及冷卻）至關(guān)重要。靜電卡盤（簡稱 ESC 或者 E-CHUCK）具有高穩(wěn)定性、晶圓平坦度高、顆粒污染小、邊緣效應(yīng)小等優(yōu)勢，目前已廣泛應(yīng)用在等離子和真空工藝的半導(dǎo)體工藝過程中。

    下游集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展及巨大的需求配合積極的國家產(chǎn)業(yè)政策與活躍的社會資本，正在全方位、多角度地推動ESC行業(yè)進步，為我國ESC廠商創(chuàng)造了機遇。行業(yè)需求不斷增加，市場規(guī)模不斷擴大，據(jù)統(tǒng)計2014年我國晶圓的靜電卡盤市場規(guī)模為1197萬元，2019年我國晶圓的靜電卡盤市場規(guī)模增長至5349萬元。

2014-2019年中國晶圓的靜電卡盤市場規(guī)模走勢

資料來源：智研咨詢整理

    智研咨詢發(fā)布的《2021-2027年中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場全景分析及發(fā)展趨勢研究報告》數(shù)據(jù)顯示：靜電卡盤行業(yè)具有較高的技術(shù)、資金要求，呈現(xiàn)高度的壟斷性，基本被國外品牌產(chǎn)品占據(jù)。我國晶圓的靜電卡盤市場以進口產(chǎn)品為主。2018年，北京華卓精科公司完成PVD靜電卡盤的研制，打破了國外對靜電卡盤產(chǎn)品的工藝技術(shù)壟斷，有望打破現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)格局。相關(guān)數(shù)據(jù)表明，2019年我國進口產(chǎn)品規(guī)模為96.9%，未來國產(chǎn)產(chǎn)品進口替代空間大。

2014-2019年我國晶圓的靜電卡盤進口產(chǎn)品規(guī)模份額

資料來源：智研咨詢整理

    二、國產(chǎn)靜電卡盤技術(shù)突破

    靜電卡盤行業(yè)主要由美國AMAT、美國LAM、日本新光電氣、日本TOTO等日、美國企業(yè)主導(dǎo)。我國靜電卡盤參與企業(yè)相對較少，華卓精科靜電卡盤產(chǎn)品在國產(chǎn)制造商中處于領(lǐng)先地位。但國內(nèi)很多高校、研究機構(gòu)以及高新技術(shù)企業(yè)開始紛紛將目光投向靜電卡盤的研究。其中較具代表性的研究高校包括清華大學(xué)、北京大學(xué)、大連理工大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)等，研究機構(gòu)包括中國科學(xué)院微電子研究所、中國電子科技集團公司第四十八研究所等，參與靜電卡盤研制開發(fā)的高新技術(shù)企業(yè)包括北方微電子公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司、北京華卓精科科技股份有限公司等。

    各方努力共同推動了我國靜電吸盤（ESC）等半導(dǎo)體配套設(shè)備國產(chǎn)化穩(wěn)步進行。靜電卡盤從2014年的4臺增長到了2018年的21臺。除了北京華卓精密科技一家可以生產(chǎn)成熟的晶圓的靜電卡盤產(chǎn)品外，其他企業(yè)如廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備、北京軟體機器人、浙江新納陶瓷新材等公司的靜電卡盤產(chǎn)品尚處于研發(fā)階段，目前僅能進行靜電吸盤的維修以及更換，生產(chǎn)方面尚不成熟。

2014-2019年中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)產(chǎn)量情況

資料來源：智研咨詢整理

    晶圓的靜電卡盤行業(yè)客戶主要是集成電路設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，需求也主要分布在下游較為集中的華東、華北地區(qū)。2014年我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)需求量約46臺，到2019年增長到了131臺。近幾年我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)需求量情況如下圖所示：

2014-2019年中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)銷量情況

資料來源：智研咨詢整理

    未來產(chǎn)業(yè)趨于進一步集中

    我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)發(fā)展時間不長，國內(nèi)的技術(shù)水平與國際上的技術(shù)水平存在較大的差距。當前我國晶圓的靜電卡盤技術(shù)突破有限，國內(nèi)市場基本被國外龍頭企業(yè)壟斷。但隨著中國靜電卡盤技術(shù)研發(fā)的不斷深入，預(yù)計未來中國有望實現(xiàn)技術(shù)突破，打破國外企業(yè)壟斷的局面，實現(xiàn)進口替代。

    未來，隨著市場競爭進一步加劇，具有技術(shù)、品牌、人才和資金優(yōu)勢的廠商將通過資本運作的方式將成為潛在的行業(yè)整合者，行業(yè)內(nèi)的兼并收購將不可避免。缺乏技術(shù)創(chuàng)新、服務(wù)能力和獨特商業(yè)應(yīng)用模式的企業(yè)將逐步被淘汰，競爭實力較弱的中小廠商數(shù)量將大幅減少，產(chǎn)業(yè)趨于進一步集中。