摘要：據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2022年我國電子特氣行業(yè)市場規(guī)模為214.4億元，未來隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不斷向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，將顯著拉動我國電子特氣需求，也將進(jìn)一步加速電子特氣國產(chǎn)化進(jìn)程。

一、定義及分類

電子特種氣體，簡稱電子特氣，是指用于半導(dǎo)體、顯示面板、光伏、LED及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的特種氣體。工業(yè)中，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。電子特種氣體主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，主要分為三氟化氮等清洗氣體、六氟化鎢等金屬氣相沉積氣體等。

二、行業(yè)政策

電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板、光伏、光纖通信等領(lǐng)域，近年來得到國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部、財(cái)政部、國家稅務(wù)總局等部門相繼出臺一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，有力推動了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

三、行業(yè)歷程

電子特氣技術(shù)延續(xù)于工業(yè)氣體的發(fā)展進(jìn)步，18世紀(jì)末，工業(yè)氣體主要被應(yīng)用于醫(yī)用領(lǐng)域，后逐步應(yīng)用于商業(yè)領(lǐng)域；20世紀(jì)中期，分餾加工方法的發(fā)明和使用，大大降低了工業(yè)氣體的生產(chǎn)成本，加速了工業(yè)氣體的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程；20世紀(jì)末，電子產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，運(yùn)用于集成電路、顯示面板等電子設(shè)備的高品質(zhì)、高純度電子特氣需求增大，從而誕生了特種氣體行業(yè)。至今，隨著電子信息等高新技術(shù)的迅速發(fā)展，特種氣體規(guī)模不斷擴(kuò)大、技術(shù)壁壘不斷提升。海外企業(yè)具備多年的技術(shù)、渠道、資源、人才的積累，在特種氣體市場占據(jù)領(lǐng)先優(yōu)勢，近些年國內(nèi)部分領(lǐng)先龍頭企業(yè)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)突破，打破了海外產(chǎn)品壟斷，逐步在市場嶄露頭角。

四、行業(yè)壁壘

1、技術(shù)壁壘

電子特種氣體種類較多，不同類產(chǎn)品的合成、純化等工藝技術(shù)可能存在較大差異，且工藝路線長、過程復(fù)雜；同時，電子特種氣體對產(chǎn)品純度、產(chǎn)品指標(biāo)的穩(wěn)定性和一致性要求極高，需要對生產(chǎn)過程中各類雜質(zhì)含量進(jìn)行精準(zhǔn)有效地控制，工藝難度較大。因此，電子特種氣體企業(yè)開發(fā)一種滿足半導(dǎo)體工藝要求的氣體品種，往往需要長時間的研發(fā)積累，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，以及在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中對工藝參數(shù)不斷進(jìn)行優(yōu)化。目前國內(nèi)氣體企業(yè)實(shí)現(xiàn)了對部分電子特種氣體品種的國產(chǎn)替代，在產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中，通常要面臨不同類產(chǎn)品之間的核心技術(shù)壁壘。

2、客戶認(rèn)證壁壘

電子特種氣體的下游主要為集成電路、顯示面板等行業(yè)的大型廠商，其對產(chǎn)業(yè)鏈的管理高度精細(xì)化，對氣體產(chǎn)品的質(zhì)量和供應(yīng)穩(wěn)定性有極高的要求，對于原材料和供應(yīng)商的認(rèn)證和選擇非常嚴(yán)格。因此，新產(chǎn)品即使成功完成實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和批量化生產(chǎn)，在向客戶推廣時還將面臨較高的準(zhǔn)入壁壘，需要較長時間的審核認(rèn)證周期。

3、海外業(yè)務(wù)拓展在專利布局、市場開發(fā)方面存在較大挑戰(zhàn)

全球范圍內(nèi)，美國、日本、韓國、中國臺灣等國家和地區(qū)是集成電路產(chǎn)業(yè)的主要聚集地，也是重要的電子特種氣體終端市場。一方面，境外電子特種氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展較為成熟，國際巨頭專利布局較為全面，相關(guān)國家和地區(qū)關(guān)于知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)的法律體系較為完善，國內(nèi)氣體企業(yè)拓展海外業(yè)務(wù)需要完善海外專利布局以滿足相關(guān)法律法規(guī)對知識產(chǎn)權(quán)的要求。另一方面，電子氣體行業(yè)集中度較高，林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工4大國際巨頭市場份額超過70%，市場格局相對固化，且部分國家和地區(qū)存在保護(hù)本土產(chǎn)業(yè)的傾向，成為國內(nèi)氣體企業(yè)拓展海外業(yè)務(wù)的挑戰(zhàn)。

4、人才壁壘

我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚，雖然近年來發(fā)展速度和國產(chǎn)化進(jìn)程加快，但相關(guān)產(chǎn)業(yè)的人才培養(yǎng)尚需時間。目前，電子特種氣體行業(yè)專業(yè)研發(fā)人才、具備半導(dǎo)體工藝服務(wù)和應(yīng)急處理能力的人才、具備專業(yè)知識和國際化視野的市場營銷人才、具備專業(yè)管理理念和技能的人才等都相對缺乏。國內(nèi)企業(yè)、高校、研究院所的基礎(chǔ)研究實(shí)力和產(chǎn)業(yè)化能力與國際龍頭企業(yè)相比尚有較大差距。隨著國內(nèi)集成電路及電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國內(nèi)氣體企業(yè)進(jìn)一步走向全球市場，專業(yè)化人才不足仍是制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的因素之一。

5、資質(zhì)壁壘

工業(yè)氣體屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，在其生產(chǎn)、儲存、運(yùn)輸、銷售等環(huán)節(jié)均需通過嚴(yán)格的資質(zhì)認(rèn)證，需要取得多項(xiàng)資質(zhì)。資質(zhì)審核過程嚴(yán)格，不僅需對企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境、工藝、設(shè)備等進(jìn)行多次現(xiàn)場評估，還要求生產(chǎn)人員、管理人員均需通過相應(yīng)測試并取得個人資質(zhì)，資質(zhì)獲取作為工業(yè)氣體行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營的前置程序。除此以外，部分特定用途的特種氣體還需要另外經(jīng)過專項(xiàng)嚴(yán)格審核才可取得相應(yīng)用途的產(chǎn)品經(jīng)營資質(zhì)，例如食品級N2O的生產(chǎn)需取得《食品生產(chǎn)許可證》，標(biāo)準(zhǔn)氣業(yè)務(wù)需取得《制造計(jì)量器具許可證》等。

6、資金壁壘

電子特種氣體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)施要求較大規(guī)模的固定資產(chǎn)投入，同時為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，需要采用大量精密監(jiān)測和控制設(shè)備。行業(yè)內(nèi)企業(yè)在擴(kuò)大業(yè)務(wù)規(guī)模的過程中，往往通過兼并收購的方式橫向布局，需要較強(qiáng)的資本實(shí)力。氣體供應(yīng)商需要有專業(yè)的運(yùn)輸設(shè)備和特種運(yùn)輸車輛，還需要對運(yùn)輸?shù)娜^程進(jìn)行跟蹤監(jiān)測和嚴(yán)格控制，由此帶來的運(yùn)輸及監(jiān)控設(shè)備投入也比較大。

五、產(chǎn)業(yè)鏈

1、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析

電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要為空氣、廢氣、氣體分離機(jī)、壓力容器等，在原材料選擇上，特種氣體的原料主要為外購的工業(yè)氣體和化學(xué)原材料，成本相對較高。設(shè)備主要分為氣體生產(chǎn)設(shè)備、氣體儲存設(shè)備和氣體運(yùn)輸設(shè)備。氣體生產(chǎn)設(shè)備主要有空分設(shè)備和氣體提純設(shè)備，氣體儲存設(shè)備主要有鋼瓶和儲槽，氣體運(yùn)輸設(shè)備主要有用液化氣槽車和管道。生產(chǎn)、存儲、運(yùn)輸設(shè)備決定了氣體公司的品質(zhì)與服務(wù)，很多電子特氣企業(yè)與上游形成了長期、定制的合作關(guān)系，也是電子特氣企業(yè)的核心壁壘之一。產(chǎn)業(yè)鏈的中游為電子特氣制造、運(yùn)輸和儲存。電子特種氣體行業(yè)下游應(yīng)用在集成電路、顯示面板、光伏與LED等電子產(chǎn)業(yè)的細(xì)分種類，占據(jù)電子特氣的較大比例。

電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

空氣

廢氣

氣體分離機(jī)

壓力容器設(shè)備

蘭州蘭石重型裝備股份有限公司

蘇州天沃科技股份有限公司

南京寶色股份公司

張家港富瑞特種裝備股份有限公司

四川科新機(jī)電股份有限公司

無錫化工裝備股份有限公司

甘肅藍(lán)科石化高新裝備股份有限公司

北京廣廈環(huán)能科技股份有限公司

上游

中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司

江蘇南大光電材料股份有限公司

金宏氣體股份有限公司

廣東華特氣體股份有限公司

中游

集成電路

顯示面板

光伏

LED

下游

2、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)分析

（1）中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司

中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司是國內(nèi)領(lǐng)先、世界知名的電子特氣和三氟甲磺酸系列產(chǎn)品供應(yīng)商，致力于電子特氣的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。公司的主營業(yè)務(wù)和產(chǎn)品起源于七一八所特氣工程部，是國內(nèi)較早專門從事電子特種氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)。經(jīng)過多年持續(xù)創(chuàng)新和技術(shù)攻關(guān)，公司成功研發(fā)了50余種具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，主要包括高純?nèi)⒏呒兞u、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料，下游覆蓋集成電路、顯示面板、鋰電新能源、醫(yī)藥、光纖等行業(yè)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2023年中船特氣營業(yè)收入為16.16億元，同比下降17.39%，其中電子特氣業(yè)務(wù)收入為14.86億元，同比下降13.62%。

（2）江蘇雅克科技股份有限公司

江蘇雅克科技股份有限公司是一家主要致力于電子半導(dǎo)體材料，深冷復(fù)合材料以及塑料助劑材料研發(fā)和生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，2018年通過收購成都科美特特種氣體有限公司切入特種氣體領(lǐng)域。2023年上半年，公司下屬子公司科美特繼續(xù)為臺積電、三星電子、Intel、中芯國際、海力士、京東方等業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)穩(wěn)定批量供應(yīng)產(chǎn)品。隨著國內(nèi)一系列超大型特高壓輸變電項(xiàng)目的推進(jìn)，科美特工業(yè)用六氟化硫產(chǎn)品銷量得到進(jìn)一步提升。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2023年雅克科技營業(yè)收入為47.38億元，同比增長11.24%，其中電子特氣業(yè)務(wù)收入為4.39億元，同比下降11.55%。

六、行業(yè)現(xiàn)狀

電子特氣細(xì)分種類多樣，用途廣泛，不同種類和純度的電子特氣適用于電子工業(yè)生產(chǎn)不同環(huán)節(jié)。按照功能劃分，電子特氣可以劃分為稀釋氣體、CVD氣體、蝕刻氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體等。按照下游需求劃分，電子特氣可以劃分為平板顯示用氣體、半導(dǎo)體用氣體、光伏用氣體和LED用氣體，終端產(chǎn)品涉及家電、電腦、芯片、太陽能等不同領(lǐng)域。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2022年我國電子特氣行業(yè)市場規(guī)模為214.4億元，未來隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不斷向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，將顯著拉動我國電子特氣需求，也將進(jìn)一步加速電子特氣國產(chǎn)化進(jìn)程。

七、發(fā)展因素

1、有利因素

（1）國家政策大力鼓勵電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展

電子特氣行業(yè)屬于國家重點(diǎn)支持的行業(yè)，近年來我國先后推出了《原材料工業(yè)“三品”實(shí)施方案》《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》《工業(yè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類目錄（2023）》《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2024年版）》等，《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》將“信息產(chǎn)業(yè)-電子元器件生產(chǎn)專用材料：濕化學(xué)品、電子特氣、光刻膠等工藝與輔助材料等”列為鼓勵類?！豆I(yè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類目錄（2023）》將“專用化學(xué)品及材料制造-電子專用材料制造-電子特種氣體（應(yīng)用于半導(dǎo)體、新型顯示、光伏太陽能電池、LED等電子器件生產(chǎn)的氣體，包括三氟化氮、六氟化鎢、笑氣、氨氣、一氧化碳等）”列為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。

（2）集成電路、顯示面板等產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張帶動電子特種氣體需求強(qiáng)勁

隨著我國經(jīng)濟(jì)由高速增長階段轉(zhuǎn)向高質(zhì)量發(fā)展階段，高端制造業(yè)成為國家重點(diǎn)鼓勵發(fā)展的方向，整體市場規(guī)?？焖僭鲩L。5G、人工智能、云計(jì)算等新一代信息技術(shù)的發(fā)展大幅增加了芯片、顯示面板等硬件的需求。近年來，國內(nèi)晶圓廠處于密集擴(kuò)產(chǎn)的周期，進(jìn)而帶動了相關(guān)的上游原材料需求強(qiáng)勁增長。

（3）國產(chǎn)替代與國際化發(fā)展趨勢，為國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)帶來發(fā)展契機(jī)

自2018年以來，國際政治經(jīng)濟(jì)環(huán)境復(fù)雜多變，貿(mào)易摩擦不斷升級，集成電路產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè)，從設(shè)備、原材料等，深受影響，嚴(yán)重制約我國集成電路制造業(yè)的發(fā)展，自主可控的國產(chǎn)化替代發(fā)展之路勢在必行，上下游客戶廣泛共識。經(jīng)過多年追趕，國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)在部分產(chǎn)品的生產(chǎn)上實(shí)現(xiàn)突破，成功進(jìn)入集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈，具備了參與全球競爭的實(shí)力。我國集成電路制造用材料國產(chǎn)化程度的不高進(jìn)一步推動提升電子特氣國產(chǎn)化替代水平，促進(jìn)電子特氣企業(yè)國際化發(fā)展，從制約國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)短板，向國際市場電子特氣長板發(fā)展，未來成長空間可期。

（4）產(chǎn)業(yè)配套逐步完善，產(chǎn)業(yè)價(jià)值愈發(fā)顯現(xiàn)

在國家政策的支持下，國內(nèi)電子特氣產(chǎn)業(yè)初具規(guī)模，產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需配套技術(shù)、原料、工程等越來越成熟，人才儲備和知識產(chǎn)權(quán)布局收效明顯，并得到客戶廣泛認(rèn)可，這在根本上提高了客戶實(shí)現(xiàn)材料本地化發(fā)展的源動力和緊迫性，結(jié)合本地化物流、倉儲、服務(wù)等優(yōu)勢，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)可持續(xù)健康發(fā)展。國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全方面發(fā)展，產(chǎn)業(yè)配置逐步完善，也有利于公司提升規(guī)模、人才和配套資源的集聚效應(yīng)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)合力發(fā)展。另一方面，集成電路制造技術(shù)節(jié)點(diǎn)推進(jìn)，所帶來的材料指標(biāo)要求提高，電子特種氣體材料多元化發(fā)展要求等，結(jié)合本地化發(fā)展需要，未來的市場空間和增長潛力巨大。

2、不利因素

（1）部分氣體品種仍有技術(shù)壁壘

集成電路工藝流程環(huán)節(jié)較多，不同環(huán)節(jié)需要搭配使用特定的電子特種氣體，各類電子特種氣體總體數(shù)量超過100種，其中大部分品種被國外壟斷，即使部分氣體用量較少，但也是集成電路生產(chǎn)中不可缺少的關(guān)鍵性材料。國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)整體發(fā)展時間較短，在產(chǎn)品種類、工藝水平、綜合服務(wù)能力等方面依然與國際巨頭有差距，而且這種差距很難在短期打破，需要一定時間的迭代試錯。由于半導(dǎo)體產(chǎn)線上原材料微小的誤差可能造成整條產(chǎn)線的損失，客戶的試錯成本很高，加大了國內(nèi)企業(yè)進(jìn)入新產(chǎn)品、新市場的難度。

（2）新產(chǎn)品研發(fā)的壓力

摩爾定律展現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)快速迭代更新的特點(diǎn)，各大芯片制造廠商持續(xù)投入大量研發(fā)費(fèi)用，開發(fā)新的工藝，以保證產(chǎn)品性能的領(lǐng)先性。制程升級對電子特種氣體的純度和性能都提出了更高的要求，新開發(fā)的生產(chǎn)工藝也會產(chǎn)生新的原材料需求。因此，電子特種氣體企業(yè)始終面臨著技術(shù)更新和產(chǎn)品替代的風(fēng)險(xiǎn)，需保持足夠的研發(fā)強(qiáng)度，及時跟蹤下游行業(yè)的技術(shù)動態(tài)，將自身產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展路線與半導(dǎo)體工藝路線緊密結(jié)合，并且需不斷豐富產(chǎn)品種類，以抵御技術(shù)變更和產(chǎn)品替代風(fēng)險(xiǎn)。

（3）專業(yè)化人才不足制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展

我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚，雖然近年來發(fā)展速度和國產(chǎn)化進(jìn)程加快，但相關(guān)產(chǎn)業(yè)的人才培養(yǎng)尚需時間。目前，電子特種氣體行業(yè)專業(yè)研發(fā)人才、具備半導(dǎo)體工藝服務(wù)和應(yīng)急處理能力的人才、具備專業(yè)知識和國際化視野的市場營銷人才、具備專業(yè)管理理念和技能的人才等都相對缺乏。國內(nèi)企業(yè)、高校、研究院所的基礎(chǔ)研究實(shí)力和產(chǎn)業(yè)化能力與國際龍頭企業(yè)相比尚有較大差距。隨著國內(nèi)集成電路及電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國內(nèi)氣體企業(yè)進(jìn)一步走向全球市場，專業(yè)化人才不足仍是制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的因素之一。

八、競爭格局

1、四巨頭主導(dǎo)國際氣體市場，競爭優(yōu)勢較為明顯

目前，德國林德集團(tuán)、法國液化空氣、美國空氣化工，和日本大陽日酸主導(dǎo)著全球電子特氣業(yè)務(wù)，形成了寡頭壟斷的格局。林德集團(tuán)成立于1879年，2018年與普萊克斯合并后業(yè)務(wù)規(guī)模躍居首位，是全球領(lǐng)先的德國工業(yè)氣體公司，服務(wù)于化工、能源、食品飲料、電子、醫(yī)療保健、制造、金屬和采礦等終端市場，TGM服務(wù)體系位于領(lǐng)先地位。液化空氣公司1902年成立于法國巴黎，在75個國家擁有約66400名員工，并為380多萬客戶提供服務(wù)，為金屬、化工、煉油和能源等行業(yè)客戶提供氣體和能源解決方案。美國空氣化工成立于1940年，專注于服務(wù)能源、環(huán)境和新興市場，在液化天然氣技術(shù)和設(shè)備供應(yīng)上處于領(lǐng)先地位，在全球電子行業(yè)高純度工藝氣體具有顯著的領(lǐng)先優(yōu)勢。日本大陽日酸創(chuàng)立于1910年，是日本最大工業(yè)氣體制造商，為領(lǐng)先的半導(dǎo)體氣體供應(yīng)商，廣泛應(yīng)用于IC(集成電路)和存儲器(半導(dǎo)體存儲設(shè)備)、液晶、太陽能電池、LED和超精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)。

2、國內(nèi)企業(yè)技術(shù)不斷進(jìn)步，國產(chǎn)替代逐漸加速

近年來我國電子、新能源等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)規(guī)?？焖僭鲩L，伴隨晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，未來三年國內(nèi)電子特氣需求將呈放量加速。隨著國家政策加大本土電子特氣產(chǎn)業(yè)支持力度，國內(nèi)企業(yè)通過不斷積累經(jīng)驗(yàn)和攻克技術(shù)在部分產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)突破達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)，具備了特種氣體國產(chǎn)替代的客觀條件，涌現(xiàn)出一批生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定的氣體廠商。目前國內(nèi)電子特氣第一梯隊(duì)的廠商已經(jīng)具備替代能力，在細(xì)分領(lǐng)域具有一定優(yōu)勢，逐步縮小與國外龍頭的差距，加速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。此外，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體需求提升及晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，我國電子特種氣體行業(yè)生產(chǎn)廠商在取得技術(shù)突破的同時也積極進(jìn)行產(chǎn)能提升。未來，隨著國內(nèi)電子特種氣體廠商工藝技術(shù)能力持續(xù)提升及產(chǎn)能不斷擴(kuò)充，將推動行業(yè)國產(chǎn)化率進(jìn)一步提升。我國電子特氣產(chǎn)品將逐步實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，外資在華壟斷格局有望被打破。

九、行業(yè)趨勢

隨著先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的突破，工藝步驟的增加，市場對電子特種氣體在產(chǎn)品多元化服務(wù)、品質(zhì)可靠性保證、及時高效物流服務(wù)等方面都提出更高要求。同時需要電子特種氣體企業(yè)從物流、倉儲、技術(shù)支持、分析控制、綜合性價(jià)比等方面提升綜合服務(wù)能力。未來，我國電子氣體企業(yè)需要整合行業(yè)內(nèi)資源，持續(xù)研發(fā)投入，加大人才儲備，從規(guī)模、品牌、技術(shù)、產(chǎn)品、成本等多維度整合，夯實(shí)提升多維度競爭優(yōu)勢，提升市場化綜合服務(wù)能力，將多元化需求與一站式服務(wù)結(jié)合，突破國外壟斷的電子特種氣體市場，逐漸發(fā)展成具有國際競爭力的電子特種氣體綜合服務(wù)供應(yīng)商。未來我國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢體現(xiàn)在高端產(chǎn)品需求增加、技術(shù)創(chuàng)新推動與環(huán)保要求提高三個方面。