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2018年全球工藝控制與量測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)統(tǒng)計(jì) 國產(chǎn)品牌對(duì)比分析[圖]

半導(dǎo)體設(shè)備曹伍斌 2019-12-06 07:30 來源：智研咨詢

半導(dǎo)體的工藝控制、良率管理、量測設(shè)備，主要包括尺寸測量和缺陷檢測，尺寸測量包括膜厚檢測、粗糙度測量、套刻誤差測量、OCD測量、掩模板測量等，缺陷檢測包括無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測、電子束復(fù)檢設(shè)備等。

數(shù)據(jù)顯示，2018年前道工藝控制與量測設(shè)備市場規(guī)模64億美元，占前道工藝設(shè)備的10.8%，2019年估計(jì)降至58億美元，同比下滑10%。中國大陸市場約13億美元，其中本土晶圓廠的工藝控制與量測設(shè)備需求約占1/2，相當(dāng)于6.5億美元。

2013-2019年全球工藝控制與量測設(shè)備市場規(guī)模

資料來源：智研咨詢整理

工藝控制與量測設(shè)備市場上，尺寸測量占52%（其中，膜厚檢測占12%、套刻誤差測量占9%、OCD測量占10%、晶圓形貌測量占6%、掩模板測量占15%），缺陷檢測占比48%（無圖形晶圓檢測占5%、有圖形晶圓檢測占32%、電子束復(fù)檢設(shè)備占11%）。

工藝控制與量測設(shè)備的分類及構(gòu)成

資料來源：智研咨詢整理

全球前道工藝控制與量測設(shè)備市場被KLA、應(yīng)用材料、Hitachi壟斷。根據(jù)數(shù)據(jù)，全球工藝控制與量測設(shè)備市場上，KLA市占率52%，應(yīng)用材料市占率12%，日立科技市占率11%，行業(yè)前三名的市占率合計(jì)75%。分產(chǎn)品看，膜厚檢測設(shè)備主要被KLA、Nova壟斷，套刻誤差測量設(shè)備被KLA、ASML壟斷，OCD測量被KLA、Nano壟斷，形貌測量、掩模板檢測、無圖形缺陷檢測、有圖形缺陷檢測等的60%以上市場被KLA占據(jù)，電子束檢測設(shè)備主要來自應(yīng)用材料、ASML、KLA。

2018年全球工藝控制與量測設(shè)備的行業(yè)競爭格局

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KLA：全球高度壟斷的工藝控制與量測設(shè)備供應(yīng)商。KLA2019年銷售收入46億美元，凈利潤12億美元，毛利率59%，凈利率26%，盈利能力在全球半導(dǎo)體設(shè)備中較高，主要是KLA在各類工藝控制與量測設(shè)備中均處于壟斷地位，其中在晶圓形貌測量占85%，在無圖形晶圓檢測占78%，在有圖形晶圓檢測占72%，掩模板測量中占66%，在套刻誤差測量的市占率65%，在OCD測量占50%，在膜厚設(shè)備中占45%。

KLA 在各類工藝控制與量測設(shè)備的市占率

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三家工藝控制與量測設(shè)備國產(chǎn)品牌情況

上海精測半導(dǎo)體：有望成為國產(chǎn)品牌后起之秀。上海精測主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，以橢圓偏振技術(shù)為核心開發(fā)了適用于半導(dǎo)體工業(yè)級(jí)應(yīng)用的膜厚測量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)。目前已有1臺(tái)膜厚的設(shè)備進(jìn)入半導(dǎo)體廠商，且預(yù)期后續(xù)會(huì)取得客戶的重復(fù)性訂單，電子顯微鏡的相關(guān)設(shè)備預(yù)計(jì)在明年推向市場，其余相關(guān)的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及擴(kuò)展的過程中。上海精測成功引入國家集成電路大基金等專業(yè)投資機(jī)構(gòu)，將會(huì)使上海精測的發(fā)展進(jìn)入一個(gè)全新階段。

中科飛測：形貌量測設(shè)備、厚度量測設(shè)備等已進(jìn)入主流晶圓廠。公司創(chuàng)始人和核心團(tuán)隊(duì)成員具有海外多年技術(shù)積累和管理經(jīng)驗(yàn)，自主研發(fā)核心產(chǎn)品包括三維形貌量測系統(tǒng)CYPRESS系列、表面缺陷檢測系統(tǒng)SPRUCE系列等。其中公司多臺(tái)光學(xué)表面三維形貌量測設(shè)備進(jìn)入本土存儲(chǔ)客戶，多臺(tái)厚度量測設(shè)備等檢測設(shè)備進(jìn)入青島芯恩產(chǎn)線。

上海睿勵(lì)：老牌國產(chǎn)工藝控制與量測設(shè)備供應(yīng)商。睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）成立于2005年，距今已有14年歷史，公司曾獲三星電子多臺(tái)膜厚量測設(shè)備訂單，以及武漢新芯、長江存儲(chǔ)、上海華力等的數(shù)臺(tái)膜厚量測設(shè)備訂單。

三家工藝控制與量測設(shè)備本土供應(yīng)商

國產(chǎn)品牌	成立時(shí)間	主要方向	已有客戶
上海精測	2018	膜厚量測、光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量、電子束測量等	/
中科飛測	2014	三維形貌量測系統(tǒng)、表面缺陷檢測系統(tǒng)等	中芯國際、長江存儲(chǔ)、青島芯恩等
上海睿勵(lì)	2005	光學(xué)薄膜測量設(shè)備等	三星電子、長江存儲(chǔ)、上海華力等

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本文采編：CY235

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