2018年中國電子特氣行業(yè)市場規(guī)模、產(chǎn)量及市場競爭格局分析[圖]

    電子特種氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料，它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)服務(wù)的電子氣品種繁多，用途五花八門，它的分類方法亦較為復(fù)雜。一般可按電子氣用量的多少分類，也可以按電子氣的用途分類。

    電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的上游主要有氟、硼、磷等原料以及制取設(shè)備行業(yè)，下游主要是半導(dǎo)體、微電子和太陽能電池等行業(yè)，目前，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從之前的千億扶持計劃，到中國制造2025，恰逢新興增長點的孕育崛起期，中國電子特氣產(chǎn)業(yè)面臨著前所未有的發(fā)展機(jī)遇。

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    1、電子特氣市場規(guī)模

    近年來，隨著下游集成電路、半導(dǎo)體等電子工業(yè)市場的快速發(fā)展，我國電子特氣市場規(guī)模不斷增大。智研咨詢發(fā)布的《2019-2025年中國電子特氣市場評估及未來發(fā)展趨勢報告》數(shù)據(jù)顯示，2018年我國電子特種氣體市場規(guī)模約132.8億元，同比2017年的112.4億元增長了18.15%，近幾年我國電子特種氣體市場規(guī)模及增速情況如下圖所示：

2010-2018年中國電子特種氣體市場規(guī)模情況

資料來源：智研咨詢整理

    2018年我國特種電子氣體行業(yè)市場規(guī)模約132.8億元，其中半導(dǎo)體領(lǐng)域需求市場規(guī)模85億元，電子器件領(lǐng)域需求市場規(guī)模約40.1億元，太陽能及其他領(lǐng)域需求市場規(guī)模約7.7億元。如下圖所示：

2011-2018年中國特種電子氣體行業(yè)細(xì)分市場規(guī)模情況

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    2、電子特氣產(chǎn)量情況

    目前特種氣體，主要被歐美企業(yè)壟斷，我國技術(shù)水平與高端集成電路工藝需求還有很大差距，目前國內(nèi)整體生產(chǎn)規(guī)模小、產(chǎn)品純度不高、各批次產(chǎn)品純度不穩(wěn)定。國內(nèi)從事高純電子氣體生產(chǎn)的企業(yè)主要有中船重工 718 所、南大光電、蘇州金宏氣體、科利德化工、華特氣體等。經(jīng)過多年的努力，718 所、華特氣體等單位的 NF3、WF6、C2F6等部分氣體產(chǎn)品已經(jīng)批量應(yīng)用于國內(nèi) 8 英寸和12 英寸的集成電路生產(chǎn)線。

    （1）國產(chǎn)高純氨產(chǎn)能分析

    高純氨作為電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學(xué)氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。國產(chǎn)高純氨在太陽能領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。由于國產(chǎn)高純氨進(jìn)入市場，改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。

國內(nèi)主要高純氨裝置產(chǎn)能概況（噸/年）

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    （2）高純四氟化碳規(guī)模化生產(chǎn)能力

    目前，國內(nèi)外市場上的四氟化碳主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子刻蝕。我國四氟化碳主要生產(chǎn)商有福建永晶科技股份有限公司、雅克股份（成都科美特）、黎明化工研究設(shè)計院有限責(zé)任公司、四川眾力氟業(yè)有限責(zé)任公司、中核紅華特種氣體股份有限公司、綏寧縣聯(lián)合化工有限責(zé)任公司、北京綠菱氣體科技有限公司、光明化工研究設(shè)計院、山東銳華氟業(yè)有限公司等企業(yè)。

2018年我國四氟化碳行業(yè)產(chǎn)能分析

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    高純四氟化碳?xì)鈴V泛應(yīng)用于硅材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。金融危機(jī)暴發(fā)前，由于國內(nèi)不具備四氟化碳規(guī)?；a(chǎn)能力，有錢也買不到產(chǎn)品，市場經(jīng)常出現(xiàn)“有價無貨”的現(xiàn)象。但隨著國產(chǎn)高純四氟化碳的入市，現(xiàn)在“有價無貨”時代已經(jīng)結(jié)束。

    目前國內(nèi)市場高純四氟化碳國產(chǎn)貨基本可滿足國內(nèi)需求。我國制氟技術(shù)的進(jìn)步主要得益于軍工技術(shù)的支撐，中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工業(yè)理化工程研究院等長期以來依托雄厚的技術(shù)力量，為我國制氟技術(shù)的進(jìn)步提供了重要的技術(shù)支持。

2011-2018年我國四氟化碳年需求量走勢

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    （3）高純氯化氫

    國內(nèi)企業(yè)出產(chǎn)的高純氯化氫的性能指標(biāo)與國外同類產(chǎn)物適當(dāng)，填補(bǔ)了我國電子級氯化氫產(chǎn)物出產(chǎn)的空白，當(dāng)前已廣泛使用于集成電路芯片制造業(yè)、硬質(zhì)合金制造業(yè)、醫(yī)藥化工制造業(yè)，并批量遠(yuǎn)銷于韓國及東南亞一帶。

    高純氯化氫（HCL），主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路單晶硅片氣相拋光，外延機(jī)座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶于水（遇水是有強(qiáng)腐蝕性）。遇氰化物產(chǎn)生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經(jīng)可以滿足國內(nèi)市場的需求。

國內(nèi)主要高純氯化氫產(chǎn)能

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    （4）電子級六氟化硫（SF6）

    SF6是由電解產(chǎn)生的氟氣在中高溫下與熔融硫磺反應(yīng)來制備的，主要用于各種高壓電氣設(shè)備。我國SF6的研制開始于20世紀(jì)60年代，經(jīng)過多年的發(fā)展，SF6生產(chǎn)廠家不斷增加，目前比較領(lǐng)先的企業(yè)有黎明化工研究院和山東銳華氟業(yè)有限公司國，SF6年產(chǎn)能分別達(dá)到300噸和500噸。

國內(nèi)主要電子級六氟化硫（SF6）產(chǎn)能

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    3、市場競爭格局

    經(jīng)過多年的發(fā)展，全球電子特種氣體市場已經(jīng)形成了少數(shù)幾家氣體生產(chǎn)企業(yè)占據(jù)全球市場大多數(shù)份額的市場格局。前四大生產(chǎn)廠商—法國液化空氣集團(tuán)（AL）、德國林德集團(tuán)（Linde）、美國普萊克斯集團(tuán)（PRAXAIR）和美國空氣化工產(chǎn)品集團(tuán)（AirProducts）占據(jù)絕大部分市場份額，市場高度集中。

    中國電子特種氣體市場隨著改革開放后經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展而迅速發(fā)展壯大。較早發(fā)展起來的是以現(xiàn)場制氣為主要供氣方式的大宗集中用氣市場。20 世紀(jì) 80 年代起，外資氣體供應(yīng)商開始進(jìn)入中國市場，并依靠雄厚的資金實力和豐富的項目運(yùn)作經(jīng)驗迅速占領(lǐng)了國內(nèi)現(xiàn)場制氣市場。隨著國內(nèi)技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級，以杭氧股份、四川空分集團(tuán)為代表的設(shè)備制造商向大型現(xiàn)場制氣供應(yīng)商轉(zhuǎn)型。目前，國內(nèi)大型現(xiàn)場制氣市場形成了外資巨頭、國內(nèi)專業(yè)氣體供應(yīng)商、空分設(shè)備制造商共同競爭的局面，競爭較為激烈。

2018年中國特種氣體行業(yè)主要企業(yè)占比

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