中國(guó)半導(dǎo)體檢驗(yàn)市場(chǎng)現(xiàn)狀及行業(yè)格局發(fā)展分析[圖]

    一、現(xiàn)狀

    隨著全球IC產(chǎn)業(yè)重心向中國(guó)轉(zhuǎn)移，國(guó)內(nèi)外知名的IC制造與封測(cè)廠商紛紛在中國(guó)建立或擴(kuò)充生產(chǎn)線(xiàn)。近年來(lái)，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈向中國(guó)大陸加速轉(zhuǎn)移的趨勢(shì)越來(lái)越明確，中國(guó)巨大的市場(chǎng)也吸引了越來(lái)越多的晶圓制造產(chǎn)能落地。2014年開(kāi)始，中國(guó)大陸迎來(lái)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)建廠潮，預(yù)估2017-2020年全球62座新投產(chǎn)的晶圓廠中有26座來(lái)自中國(guó)大陸，占比42%。因而，大規(guī)模的晶圓廠建設(shè)激發(fā)了中國(guó)對(duì)IC設(shè)備的采購(gòu)需求，根據(jù)調(diào)查數(shù)據(jù)顯示中國(guó)集成電路專(zhuān)用設(shè)備市場(chǎng)迅速增長(zhǎng)，市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)達(dá)到82.2億美元，占比達(dá)到了14.5%。

2017年全球集成電路專(zhuān)用設(shè)備各區(qū)域需求占比

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    中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備需求持續(xù)提升，測(cè)試設(shè)備擁有約100億美元市場(chǎng)。在2018年SEMICONWest展覽會(huì)上發(fā)布報(bào)告，預(yù)計(jì)2019年全球半導(dǎo)體設(shè)備支出達(dá)675.8億美元，同比增長(zhǎng)7.73%，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備支出將增長(zhǎng)46.66%，達(dá)到173億美元，躋身世界榜首。在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，2017年晶圓制造設(shè)備達(dá)到455.1億美元，占比達(dá)到80.3%；半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備銷(xiāo)售額居第二位，達(dá)到47.0億美元，占比達(dá)到8.3%；封裝設(shè)備銷(xiāo)售額達(dá)到38.8億美元，占比為6.8%；其它前端部分，包括FAB設(shè)施設(shè)備、晶圓制造和掩模設(shè)備，增加至26.0億美元。

2013-2019年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模及預(yù)測(cè)

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    2017年全球半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為55億美元，后道檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為47億美元，全球檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為102億美元。

2017年全球半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備市場(chǎng)結(jié)構(gòu)

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2017年全球晶圓檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)結(jié)構(gòu)

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    半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程分為前道工藝和后道工藝，前道工藝包括光刻、蝕刻、鍍膜等，為實(shí)現(xiàn)前道量檢測(cè)工序，需要橢偏儀、四探針等眾多設(shè)備；ATE（自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備）、探針臺(tái)與揀選臺(tái)主要用于半導(dǎo)體制程的后道工藝，以半導(dǎo)體的封裝測(cè)試為主，具體的功能取決于工藝設(shè)計(jì)的要求。

    晶圓前道量檢測(cè)設(shè)備種類(lèi)繁多，大體上都是根據(jù)光學(xué)和電子束原理進(jìn)行工作。量測(cè)主要作用為度量，即測(cè)定晶圓制造過(guò)程中薄膜厚度、膜應(yīng)力、摻雜濃度、關(guān)鍵尺寸、套刻精度等參數(shù)是否符合設(shè)計(jì)要求；檢測(cè)主要作用為檢查會(huì)影響成品率的缺陷問(wèn)題，即檢查生產(chǎn)過(guò)程中有無(wú)產(chǎn)生表面雜質(zhì)顆粒沾污、晶體圖案缺陷、機(jī)械劃傷等缺陷，影響芯片的成品率。

    封裝測(cè)試主要是對(duì)已制造完成的半導(dǎo)體元件進(jìn)行結(jié)構(gòu)及電氣功能的確認(rèn)，以保證半導(dǎo)體元件符合系統(tǒng)的需求，并對(duì)合格與不合格的成品進(jìn)行分揀。該流程一般會(huì)使用分選機(jī)與ATE共同作業(yè)，分選機(jī)將DUT（被測(cè)試產(chǎn)品）放置在一臺(tái)連接ATE的接口適配器（TUA）上進(jìn)行測(cè)試。由于被測(cè)對(duì)象DUT有各種不同的連接要求和輸入/輸出端口，因此DUT連接到ATE通常要求有相應(yīng)的接口設(shè)備，稱(chēng)為接口適配器，它將完成DUT到ATE的正確、可靠的連接，并且為ATE中的各個(gè)信號(hào)點(diǎn)到DUT中的相應(yīng)引腳制定信號(hào)路徑。

自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的組成

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    ATE是進(jìn)行電參數(shù)性能測(cè)試的專(zhuān)用設(shè)備，探針臺(tái)和分選機(jī)則是分別在晶圓狀態(tài)和封裝成品狀態(tài)下批量測(cè)試時(shí)使用的機(jī)電一體化設(shè)備，將有效提升自動(dòng)化測(cè)試效率。目前國(guó)際知名的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備廠商在產(chǎn)品選擇上也會(huì)有所側(cè)重，如泰瑞達(dá)主要產(chǎn)品為測(cè)試機(jī)，愛(ài)德萬(wàn)主要產(chǎn)品為測(cè)試機(jī)和分選機(jī)，科利登主攻測(cè)試機(jī)，東京電子則主要生產(chǎn)探針臺(tái)。精測(cè)電子與IT&T聯(lián)合主要側(cè)重點(diǎn)在ATE領(lǐng)域，這與該設(shè)備的通用性和中國(guó)下游行業(yè)的屬性有關(guān)（半導(dǎo)體封測(cè)實(shí)力較強(qiáng)）。

    二、龍頭格局

    1、 華興源創(chuàng)

    華興源創(chuàng)是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的檢測(cè)設(shè)備與整線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)解決方案提供商，主要從事平板顯示及集成電路的檢測(cè)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，公司主要產(chǎn)品應(yīng)用于LCD與OLED平板顯示、集成電路、汽車(chē)電子等行業(yè)。公司成立之初主要提供平板顯示檢測(cè)設(shè)備，2017年初公司成立集成電路事業(yè)部，主要方向?yàn)闇y(cè)試機(jī)和分選機(jī)以及測(cè)試機(jī)配套周邊產(chǎn)品。

    在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)方面，華興源創(chuàng)近40%的營(yíng)收來(lái)自檢測(cè)治具，精測(cè)目前的主要營(yíng)收來(lái)自檢測(cè)設(shè)備。因此，華興源創(chuàng)的營(yíng)收波動(dòng)性高于精測(cè)電子，且業(yè)務(wù)類(lèi)型分散程度更高。

2018年主營(yíng)業(yè)務(wù)收入分產(chǎn)品銷(xiāo)售情況

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2018年主營(yíng)業(yè)務(wù)收入按地區(qū)分布的銷(xiāo)售額及其占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比例

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    2、 精測(cè)電子

    旗下?lián)碛刑K州精瀨、武漢精立、昆山精訊、臺(tái)灣宏瀨等子公司并在韓國(guó)設(shè)立分公司，2018年公司為下階段發(fā)展積極布局半導(dǎo)體、新能源、自動(dòng)化等多個(gè)領(lǐng)域，收購(gòu)韓國(guó)IT&T股權(quán)，設(shè)立武漢精鴻、上海精測(cè)、武漢精能等子公司等，形成顯示事業(yè)群、半導(dǎo)體事業(yè)群與新能源事業(yè)群。精測(cè)電子目前的產(chǎn)品包括模組檢測(cè)系統(tǒng)、面板檢測(cè)系統(tǒng)、OLED檢測(cè)系統(tǒng)、AOI光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備等，公司基本具備了平板顯示檢測(cè)領(lǐng)域“光、機(jī)、電、算、軟”的垂直整合能力。在半導(dǎo)體與新能源方面，公司正完成相關(guān)技術(shù)研發(fā)，已研制出膜厚檢測(cè)及面板激光切割等產(chǎn)品。

2013-2018Q1-Q3精測(cè)電子毛利率、凈利率與ROE情況

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2014-2018Q1-Q3精測(cè)電子研發(fā)費(fèi)用情況

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    3、 奧寶科技

    寶科技一家位于以色列的科技企業(yè)，成立于1981年，專(zhuān)門(mén)為PCB、平板顯示、先進(jìn)封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)和其他電子元件制造商提供自動(dòng)化修理設(shè)備、激光直接成像生產(chǎn)系統(tǒng)以及自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)。

    2018年被晶圓檢測(cè)設(shè)備制造商科磊收購(gòu)。截至2017年，奧寶的面板產(chǎn)品線(xiàn)收入約2.71億美元，占總收入的30.1％。

    全球半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備行業(yè)同樣被海外廠商壟斷，其擁有更高的技術(shù)能力，但在產(chǎn)品性?xún)r(jià)比與設(shè)備的持續(xù)供應(yīng)方面需要國(guó)內(nèi)廠商參與其中。國(guó)內(nèi)測(cè)試設(shè)備行業(yè)起步晚，整體規(guī)模較小，有部分低端測(cè)試設(shè)備，主要用于后道封裝測(cè)試，但對(duì)于中高端測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)，依然是一片空白。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上，以長(zhǎng)川科技、北京華峰為代表的少數(shù)國(guó)產(chǎn)測(cè)試設(shè)備產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)封測(cè)龍頭企業(yè)的供應(yīng)商體系，但這些公司主要進(jìn)行高功率電子元器件檢測(cè)和電源管理業(yè)務(wù)。

    相關(guān)報(bào)告：智研咨詢(xún)發(fā)布的《2019-2025年中國(guó)半導(dǎo)體器件測(cè)試儀器行業(yè)市場(chǎng)全景調(diào)查及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》